自动双面套刻光刻机

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专注双面对准双面曝光场景，依托专用晶圆机器人实现精准搬运。采用4相机协同AI深度学习算法软件，搭载自研高精度对位系统和高精度调平机构，可实现±1.5um的套刻精度。

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