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- 产品描述
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序号
关键参数
技术说明
备注
1
适用晶片尺寸
4-5/5-6英寸
2
适用光刻板尺寸
5-6/6-7英寸
3
光刻板调节方式
CCD视觉自动对位
4
相机组件
3工位视觉抓取定位(6个CCD)
5
对位精度
±1um
6
经济批量
200 PCS/批，可循环上料；
7
设备UPH
对位≥260-300pcs/H;非对位≥350pcs/H
曝光时长≤5s
8
曝光模式
接近/软接触模式(胶厚≤8um)
9
光刻胶类型、厚度
正胶/负胶/厚度
客户提供
10
光照面积
160x160mm/200mmX200mm
客户选配
11
曝光时间调解
0.1至99.9秒(可调节精度0.1s)
12
设备洁净度
搭载高效送风模块，千级/百级洁净度
13
设备控制方式
触摸屏+PLC控制+视觉主机
14
光源类型
UVLED
15
光照不均匀性
≤±2.5%
16
中心波长
单波365nm/混波365、405nm
客户选配
17
辐照强度
5-55mw/cm²/5-80mw/cm²可调
18
辐照强度衰减
5000小时以内<30%(计算累计点灯时间)
19
冷却方式
水循环冷却
20
设备尺寸
1950*1350*2200(2250含高效)
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鸣志微电子
从事半导体设备的研发设计、制造、销售等业务
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