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- 产品描述
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序号
关键参数
技术说明
备注
1
适用晶片尺寸
4-5/5-6英寸
2
适用光刻板尺寸
5-6/6-7英寸
3
光刻板调节方式
CCD视觉自动对位
4
相机组件
4个精对位，2个辅助对位
5
对准精度
套刻精度±1.5um
6
经济批量
100 PCS/批
7
设备UPH
≥140pcs/H(曝光时长5s)
曝光时长≤5s
8
曝光模式
接近/软接触模式
9
光刻胶类型、厚度
正胶/负胶/厚度≤10um
客户提供
10
光照面积
160mmX160mm
客户定制
11
曝光时间调解
0.1至99.9秒(可调节精度0.1s)
12
设备洁净度
搭载高效送风模块，百级洁净度
13
设备控制方式
触摸屏+PLC控制+视觉主机
14
光源类型
UVLEDx2
15
光照不均匀性
≤±2.5%
客户定制
16
中心波长
单波365nm/混波365、405nm
客户定制
17
辐照强度
5-55mw/cm² / 5-80mw/cm² 可调
客户定制
18
辐照强度衰减
5000H小时以内<30%
19
设备尺寸
1750*1200*2350(2350含高效)
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鸣志微电子
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