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自动双对准单面光刻机
自动双对准单面光刻机
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专注双面对准单面曝光场景，依托专用晶圆机器人实现精准搬运。采用4相机协同AI深度学习算法软件，搭载自研高精度闭环对位系统和动态补偿算法，可实现正面对准±1um，背面对准±1.5um的光刻精度。
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鸣志微电子
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