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公司聚焦黄光工艺全流程技术开发，已构建覆盖涂胶、曝光、显影等核心环节的自主化设备体系

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晶圆光刻掩膜版精对准三工位视觉对位系统V1.0

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晶圆视觉对中及角度纠偏对准软件V1.0

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一种采用CCD对中及角度补偿的高精度对准结构

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一种带有真空热板的PG涂布设备

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一种曝光机的自动上下料机器

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